近日，由北方特氣（浙江）科技有限公司新建的硅基新材料及第三代半導(dǎo)體材料一體化項目一期項目展開環(huán)評公示。
公示信息顯示，該項目總投資281739萬元，環(huán)保投1635萬元，占該總體項目總投資的0.58%。項目建設(shè)地點位于浙江省舟山市舟山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)二期，項目用地約388畝。
項目包括五個產(chǎn)品系列：A、有機硅系列、B、單晶晶體、C、硅烷系列、D、同位素系列、E、空分系列。同時，聯(lián)產(chǎn)氧氣、氮氣、氬氣、 氫氣、二氧化碳、氟化鈣和三氟化鋁等。
各系列產(chǎn)品具體產(chǎn)能為：
A.有機硅系列
B.單晶晶體:50噸/年
C.硅烷氣系列：10000噸/年電子級硅烷，1000噸/年電子級四 氯化硅，1000噸/年電子級三氯化硅，500噸/年電子級二氯二氫硅，200噸/年電子級一氯硅烷（一氯硅烷轉(zhuǎn)化為電子級三甲硅基烷胺100噸），50噸/年電子級六氯乙硅烷，10噸/年電子級乙硅烷。
D.同位素：40噸/年產(chǎn)高豐度硼-10（B10 酸），100噸/年高純硼-11（B-11）電子級特氣。
E.空分系列：氧氣、氮氣、氬氣；副產(chǎn)：氫氣1763萬立方米/年、二氧化碳883萬立方米/年。
據(jù)悉，北方特氣項目將改善目前市場上電子級硅烷特氣供不應(yīng)求且長期以來主要依靠從美國、日本、韓國等國家進(jìn)口的狀態(tài)。
