近日，由北方特氣（浙江）科技有限公司新建的硅基新材料及第三代半導體材料一體化項目一期項目展開環(huán)評公示。
公示信息顯示，該項目總投資281739萬元，環(huán)保投1635萬元，占該總體項目總投資的0.58%。項目建設地點位于浙江省舟山市舟山高新技術產(chǎn)業(yè)園區(qū)二期，項目用地約388畝。
項目包括五個產(chǎn)品系列：A、有機硅系列、B、單晶晶體、C、硅烷系列、D、同位素系列、E、空分系列。同時，聯(lián)產(chǎn)氧氣、氮氣、氬氣、 氫氣、二氧化碳、氟化鈣和三氟化鋁等。
各系列產(chǎn)品具體產(chǎn)能為：
A.有機硅系列
B.單晶晶體:50噸/年
C.硅烷氣系列：10000噸/年電子級硅烷，1000噸/年電子級四 氯化硅，1000噸/年電子級三氯化硅，500噸/年電子級二氯二氫硅，200噸/年電子級一氯硅烷（一氯硅烷轉化為電子級三甲硅基烷胺100噸），50噸/年電子級六氯乙硅烷，10噸/年電子級乙硅烷。
D.同位素：40噸/年產(chǎn)高豐度硼-10（B10 酸），100噸/年高純硼-11（B-11）電子級特氣。
E.空分系列：氧氣、氮氣、氬氣；副產(chǎn)：氫氣1763萬立方米/年、二氧化碳883萬立方米/年。
據(jù)悉，北方特氣項目將改善目前市場上電子級硅烷特氣供不應求且長期以來主要依靠從美國、日本、韓國等國家進口的狀態(tài)。
